Инженерная физика Аннотация к статье << Назад ВЛИЯНИЕ ПОВЕРХНОСТНЫХНЕСТЕХИОМЕТРИЧНЫХ ФАЗ НА СИНТЕЗ СЛОЕВ НА ОСНОВЕ ZNO А.Х. АБДУЕВ, А.К. АХМЕДОВ, А.Ш. АСВАРОВ Исследованы процессы магнетронного формирования слоев ZnO:Ga при различных парциальных давлениях кислорода и паров цинка в составе потока реагентов к поверхности роста. Показано, что при температурах синтеза выше 200 °C происходит рост кристалличности слоев в результате увеличения подвижности осаждаемых атомов на поверхности роста, обусловленного термодесорбцией кислорода. Показано, что при температурах 350…450 °C, близких к температуре десорбции цинка, рост слоев протекает с участием поверхностной нестехиометричной легкоплавкой фазы, обеспечивающей рост слоев в квазиравновесных условиях. Ключевые слова: оксид цинка, магнетронное распыление, стехиометрия, микроструктура Контактная информация: E-mail: cht-if-ran@mail.ru Стр. 094-100.