О.Ю. ГОНЧАРОВ, И.В. САПЕГИНА, Б.Е. ПУШКАРЕВ, Р.Р. ФАЙЗУЛЛИН, В.И. ЛАДЬЯНОВ, В.Н. ГУСЬКОВ, Л.Х. БАЛДАЕВ
Покрытия карбида тантала были получены с помощью новой методики безводородного низкотемпературного химического парофазного осаждения в системе «TaBr5 – CCl4 – Cd», проведены исследования их химического состава и структуры.
Ключевые слова: ХГО, карбид тантала.
Контактная информация: E-mail: olaf@nm.ru, E-mail: sainvk@bk.ru, E-mail: pbazhen@yandex.ru, E-mail: las@ftiudm.ru, E-mail: las@ftiudm.ru, E-mail: guskov@igic.ras.ru, E-mail: info@tspc.ru
Стр. 03-10. |