EN | RU    
Издательство научно-технической литературы
Поиск по сайту:

На главную»

Контакты»

Журналы»

Новости»

Оформление статей»

Реклама в журналах»

Обратная связь»

Книги»

О фирме»



 реклама



Инженерная физика

Аннотация к статье
<< Назад
ПОГЛОЩЕНИЯ ВЧ МОЩНОСТИ ПЛАЗМОЙ ИНДУКТИВНОГО РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
A.Ф. АЛЕКСАНДРОВ, Е.A. КРАЛЬКИНА, П.А. НЕКЛЮДОВА, В.Б. ПАВЛОВ, А.К. ПЕТРОВ, A.A. РУХАДЗЕ, К.В. ВАВИЛИН

Настоящая работа посвящена анализу механизма поглощения высокочастотной (ВЧ) мощности и экспериментальному и численному определению основных факторов, определяющих способность плазмы поглощать ВЧ-мощность, которые характеризуются величиной эквивалентного сопротивления плазмы в условиях ВЧ индуктивного разряда низкого давления. Определяются зависимости указанных характеристик от формы антенны, давления газа, плотности электронов, рабочей частоты и геометрических размеров плазменных источников. Экспериментальные
и численные результаты показывают не монотонное изменение эквивалентного сопротивления плазмы с увеличением электронной плотности, ее рост с давлением газа и сдвиг максимума эквивалентного сопротивления плазмы в сторону более высоких плотностей электронов с ростом рабочей частоты.
Ключевые слова: плазма, индуктивный разряд, поглощение мощности, низкое давление, сопротивление плазмы.

Контактная информация: E-mail: ekralkina@mail.ru, E-mail: vb_pavlov@mail.ru

Стр. 53-65.

 разделы

«О журнале

«Архив журнала

«Тематическая направленность журнала

«Правила оформления статей

«Этапы рассмотрения и публикации статей

«Правила рецензирования статей

«Редакционная и профессиональная этика

«Обнаружение плагиата

«Редакция и редакционная коллегия

«Новости журнала


 журналы
...................................
Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика
...................................
Приборостроение и средства автоматизации. Энциклопедический справочник
...................................
Промышленные АСУ и контроллеры
...................................
Экологические системы и приборы
...................................
Авиакосмическое приборостроение
...................................
Инженерная физика
...................................
История науки и техники
...................................
Музыка и время
...................................
Нотный альбом
...................................
Музыковедение
...................................
Всеобщая история
...................................
Справочник инженера
...................................
Прикладная физика и математика
...................................
Известия академии инженерных наук им. А.М. Прохорова
...................................

Последние новости:

Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге

Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg

Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018»

ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы

Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018"

   Rambler's Top100 Rambler's Top100         


    Система управления разработана в: ananskikh.ru
© Издательство "НАУЧТЕХЛИТИЗДАТ", 2005-2024