|
реклама |
|
|
|
|
|
|
Инженерная физика Аннотация к статье << Назад
ИЗУЧЕНИЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ |
И.Г. ПАШАЕВ
В работе исследована возможность получения многослойной металлизации Al-NiTi-Pd на поверхности монокристаллического кремния n-типа. Показано, что вследствие различия коэффициентов термического расширения, параметров решетки кремния и материала осаждаемого слоя пленки могут иметь различную
степень дефектности. Установлена роль термоотжига в формировании границы раздела Al-NiTi-PdSi/n-Si. На основе полученных многослойных структур изготовлены диоды Шоттки и изучены их характеристики. Выявлена возможность устранения технологической операции создания диффузионного барьера Ni-Ti, в случае качественного контакта PdSi с n-Si.
Ключевые слова: пленка сплава, микроструктура, трещины, граница раздела, барьер Шоттки.
Контактная информация: E-mail: islampashayev@rambler.ru
Стр. 48-54. |
|
|
|
Последние новости:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |