Инженерная физика Аннотация к статье << Назад Численный анализ влияния окисления алюминиевой металлизации на характеристики интегральной схемы Г.В. Кузнецов, Г.Я. Мамонтов, А.В. Титов Выполнено численное моделирование процесса окисления алюминиевой металлизации интегральной микросхемы парами воды. Решены уравнения теплопроводности и диффузии окислителя в оксидном слое металла. Проведена оценка масштабов влияния коррозии алюминиевой металлизации на характеристики интегральной схемы. Ключевые слова: Надежность радиоэлектроники, полупроводниковый прибор, транзистор, интенсивность отказов, металлический проводник, окисление металла, пленка окисла, сопротивление проводника, тепловые поля, уравнение теплопроводности. E-mail: avtitov@sibmail.com