Инженерная физика Аннотация к статье << Назад Свойства покрытий, сформированных на поверхности кварцевых резонаторов высокочастотным распылением оксида аллюминия Д.С. Сайко, С.А. Титов, В.В. Ганжа, С.А. Солдатенко, Б.Л. Агапов В статье описано влияние ненасыщенных паров воды на тонкие пленки оксида алюминия, сформированных путем магнетронного распыления. Описана методика высокоточных измерений влияния малых концентраций паров на изменение частот кварцевых генераторов. Проведено моделирование процесса адсорбции на поверхности корунда в рамках расширенного метода Хюккеля. Полученные оценки параметров адсорбции согласуются с известными экспериментальными данными и результатами, полученными в работах других авторов. Ключевые слова: Адсорбция, измерение влажности, кластерное моделирование. E-mail: vsu810be@mail.ru