Инженерная физика Аннотация к статье << Назад МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ЕМКОСТНОГО ВЧ РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ, ПОМЕЩЕННОГО ВО ВНЕШНЕЕ РАДИАЛЬНОЕ МАГНИТНОЕ ПОЛЕ, ПОСРЕДСТВОМ ПРОГРАММЫ KARAT И.И. ЗАДИРИЕВ, A.A. РУХАДЗЕ, Е.A. КРАЛЬКИНА, В.Б. ПАВЛОВ, К.В. ВАВИЛИН, В.П. ТАРАКАНОВ Выполнено математическое моделирование высокочастотного емкостного разряда в геометрии источника ионов с замкнутым дрейфом электронов. Показано, что в подобном разряде, также, как и в разряде постоянного тока, реализуется азимутальный дрейф электронов, и образуется скачок потенциала на срезе разрядного канала, приводящий к появлению выходящего из канала ускоренного потока ионов. Ключевые слова: емкостной ВЧ разряд, радиальное магнитное поле, метод крупных частиц, источник ионов с замкнутым дрейфом электронов. Контактная информация: E-mail: iizadiriev@gmail.com, E-mail: rukh@fpl.gpi.ru, E-mail: ekralkina@mail.ru, E-mail: vb_pavlov@mail.ru, E-mail: karat@tarak.msk.ru Стр. 59-65.