Инженерная физика Аннотация к статье << Назад
МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ЕМКОСТНОГО ВЧ РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ, ПОМЕЩЕННОГО ВО ВНЕШНЕЕ
РАДИАЛЬНОЕ МАГНИТНОЕ ПОЛЕ, ПОСРЕДСТВОМ ПРОГРАММЫ KARAT |
И.И. ЗАДИРИЕВ, A.A. РУХАДЗЕ, Е.A. КРАЛЬКИНА, В.Б. ПАВЛОВ, К.В. ВАВИЛИН, В.П. ТАРАКАНОВ
Выполнено математическое моделирование высокочастотного емкостного разряда в геометрии источника ионов с замкнутым дрейфом электронов. Показано, что в подобном разряде, также, как и в разряде постоянного тока, реализуется азимутальный дрейф электронов, и образуется скачок потенциала на срезе разрядного канала, приводящий к появлению выходящего из канала ускоренного потока ионов.
Ключевые слова: емкостной ВЧ разряд, радиальное магнитное поле, метод крупных частиц, источник ионов с замкнутым дрейфом электронов.
Контактная информация: E-mail: iizadiriev@gmail.com, E-mail: rukh@fpl.gpi.ru, E-mail: ekralkina@mail.ru, E-mail: vb_pavlov@mail.ru, E-mail: karat@tarak.msk.ru
Стр. 59-65. |
|
|