|
реклама |
|
|
|
|
|
|
Инженерная физика Аннотация к статье << Назад
ИМПЛАНТАЦИЯ ФОСФОРА, БОРА И МЫШЬЯКА В КРЕМНИЙ: ДИСТАНЦИОННОЕ КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА |
Г.А. ТАРНАВСКИЙ
На основе компьютерного моделирования проведено исследование имплантации легирую-щих примесей в подложку кремния с нанорельефом поверхности. Ключевые слова: Нанотехнологии, компьютерное моделирование, имплантация, легирующие примеси, кремний.
E-mail: Gennady.Tarnavsky@gmail.com |
|
|
|
Последние новости:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |