|
реклама |
|
|
|
|
|
|
Инженерная физика Аннотация к статье << Назад
МОДЕЛИРОВАНИЕ И АНАЛИЗ
ПОВЕРХНОСТЕЙ ТОНКИХ ПЛЕНОК МАТЕРИАЛОВ
|
В.А. Васильев, П.С. Чернов
Рассматривается проблема моделирования роста поверхности тонких пленок материалов. Проведен краткий обзор существующих подходов и моделей. Предложена оригинальная модель роста поверхности тонких пленок, представляющая собой стохастический клеточный автомат и по-зволяющая исследовать влияние температуры подложки, скорости и времени осаждения на параметры, характеризующие морфологию поверхности. Проведено сравнение результатов моделирования с данными атомно-силовой микроскопии экспериментально полученных образцов тон-ких пленок.
Контактная информация: E-mail: opto@bk.ru
Стр. 25-30. |
|
|
|
Последние новости:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |