Инженерная физика Аннотация к статье << Назад ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ И СВОЙСТВ ПЛЕНОК SIOX, ПОЛУЧЕННЫХ ХИМИЧЕСКИМ ТРАВЛЕНИЕМ ЛЕНТ АМОРФНОГО СПЛАВА В.А. ФЕДОРОВ, А.Д. БЕРЕЗНЕР, А.И. БЕСКРОВНЫЙ, Т.Н. ФУРСОВА, А.В. ПАВЛИКОВ, А.В. БАЖЕНОВ Исследовано строение и физические свойства аморфных пленок SiOx, полученных химическим травлением аморфного ленточного сплава на основе железа. Нейтронная дифракция, а также атомно-силовая и электронная микроскопия показывают, что полученные визуально прозрачные пленки имеют аморфную структуру схожую с морфологией опалов и обладают диэлектрическими свойствами. Методами дифференциально-сканирующей калориметрии, рамановской и ИК-спектроскопии была проведена оценка степени упорядоченности в структуре образцов до и после их термической обработки. Установлено, что отжиг пленок в воздушной среде, при температуре 1273 K, приводит к изменению их химического состава в сторону соединения SiO2, с включениями фазы кристобалита. Ключевые слова: аморфные пленки SiOx, нейтронная дифракция, атомно-силовая и электронная микроскопия, дифференциально-сканирующая калориметрия, рамановская и ИК-спектроскопия, фаза кристобалита. DOI: 10.25791/infizik.01.2019.387 Контактная информация: E-mail: fedorov@tsu.tmb.ru Стр. 03-10.