Инженерная физика Аннотация к статье << Назад Влияние микроструктур металлов на свойства контакта металл–полупроводник Пашаев И.Г. Мехтиев Р.Ф. Данная работа посвящена получению NixTi100–x-nSi (где х=4; 19; 37; 74; 96) диодов Шоттки (ДШ) и исследованию электрофизических свойств, содержащих металлические пленки различного состава ДШ. При рентгенофазовом анализе системы NixTi100–x установлено, что пленка сплава Ni37Ti63 имеет аморфную структуру, а остальные пленки – поликристаллическую. Определены основные параметры диодов Шоттки в зависимости от термоотжига, состава и структуры пленок металла. Установлено, что при составе Ni37Ti63 образцы при термоотжиге менее 360 С, являются аморфными. Такому составу ДШ соответствует стабиль-ная высота барьера и коэффициент неидеальности по сравнению с поликристаллической пленкой металла. В результате выявлено, что электрофизические свойства NixTi100–x -nSi ДШ связаны с изменением термоотжига и микроструктурой пленок металла. Ключевые слова: термоотжиг, поликристалл, высота барьера, аморфная структура, пленка металла, диоды Шоттки, пленка сплава. Контактная информация: E-mail: islampashayev@rambler.ru Стр. 25-30.