Инженерная физика Аннотация к статье << Назад Плотность электронных состояний и фазовая структура аморфного сплава a-SixC1–x:H Голоденко А.Б. Голоденко Б.А. Изложена методика и результаты экспериментального моделирования плотности электронных состояний и фазовой структуры аморфного сплава гидрогенизированного карбида кремния, полученного плазмохимическим осаждением из смеси газовых фаз метана и силана на подложку из монокристаллического кремния. Моделирование плотности состояний выполнено методом ультрамягкой фотоэмиссионной рентгеновской спектроскопии. Количественная оценка фазовой структуры исследуемых образцов проведена с применением калибровочного спектра, построенного на основе эталонных спектров электронных состояний гидрогенизированного аморфного кремния и его карбида. По результатам оценки установлена зависимость величины карбидной фазы кремния от содержания метана в исходной газовой смеси. Такая зависимость обусловлена плавной пере-стройкой энергетического спектра валентной зоны кремния при изменении содержания углерода в сплаве, что позволяет целенаправленно управлять процессом его синтеза для получения материала с заранее заданными свойствами. Изложенная методика инвариантна и пригодна для экспериментального изучения различных многокомпонентных твердых веществ. Ключевые слова: плотность электронных состояний, аморфный кремний, ультрамягкая рентгеноскопия. Контактная информация: E-mail: post-stamp-bag@yandex.ru Стр. 18-22.