|
реклама |
|
|
|
|
|
|
Инженерная физика Аннотация к статье << Назад
Изучение электрических свойств кремниевых
диодов Шоттки с многослойной металлизацией |
Пашаев И.Г.
В данной работе исследовано получение Al–NiTi–PdSi/n–Si диодов Шоттки (ДШ) и изучены электрические характеристики диодов Шоттки с многослойной металлизацией в зависимости от размеров, изготовленных на основе силицида палладия с диффузионным барьером Ni–Ti и без него с алюминиевой разводкой. Показана микрофотография поверхности полученных пленок Al–NiTi–PdSi, после осаждения. также следует отметить, что при строгом выдерживании идентичных условий осаждения пленок, в некоторых случаях из-за различия параметров кристаллической решетки и коэффициентов термического расширения пленок и подложки, образуются различные дефекты в пленках. В результате при резком охлаждении от температуры, при которой осуществлялась термическая обработка (порядка 500 C) до комнатной, пленки частично разрушаются и на них появляются трещины. Выявлено, что в случае контакта силицида палладия с кремнием, введение диффузионного барьера Ni–Ti является лишним технологическим этапом. Установлена роль термоотжига в формировании границы раздела Al–NiTi–PdSi/n–Si ДШ.
Ключевые слова: трещины, аморфные металлы, барьер Шоттки, пленка сплава, высота барьера, неоднородная модель, микроструктуры, границы раздела.
Контактная информация: E-mail: islampashayev@rambler.ru
Стр. 57-62. |
|
|
|
Последние новости:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |