Инженерная физика Аннотация к статье << Назад ВЛИЯНИЕ СОСТАВА И СТРУКТУРЫ МЕТАЛЛА НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА КРЕМНИЕВЫХ ДИОДОВ ШОТТКИ И.Г. Пашаев, Е.С. Гараев, М.С. Назаров, И.А. Абузеров В данной работе исследовано получение AuxTi100-x-nSi диодов Шоттки (ДШ) и изучены электрофизические свойства кремниевых ДШ, содержащих металлические пленки различного состава (где х=0; 14;30;38; 60; 80; 100). В рентгенофазовом анализе системы AuxTi100-x установлено, что пленка сплава Au38Ti62 имеет аморфную структуру, а остальные пленки – поликристаллическую. Определены основные параметры ДШ в зависимости от состава и структуры пленок металла. В результате выявлено, что электрофизические свойства AuxTi100-x-nSi ДШ связаны с изменением состава и структуры пленок металла. Полученные результаты позволяют сделать вывод, что при составе Au38Ti62 образец является аморфным. Такому составу ДШ соответствует наибольшая высота барьера и наименьший коэффициент неидеальности по сравнению с поликристаллической пленкой металла. Ключевые слова: состав и структуры аморфных металлов, диоды Шоттки, пленка сплава, высота барьера, неоднородная модель, микроструктуры. Стр. 23-26.